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随着新兴产业的快速发展，对产品的检测精度要求越来越高，检测精度从几十微米级、微米级、亚微米级以至深亚微米级递增，传统的目测或人工光学测量的方式已不能满足行业发展的需求，自动光学检测成为一种必要的技术手段，广泛地应用于工程测量，医学测量，科学研究等领域。光电显微测量系统作为一种自动光学检测系统的工作原理是：在系统软件驱动下，视频设备采集待测量物体的高分辨率图像，对图像进行图像处理分析，得到测量结果，并通过人机交互界面将结果显示出来。本文主要研究光电显微测量系统的光学及软件设计与实现，主