射频功率器件性能直接决定了无线信号发射与传输的质量。本文围绕自主研发的大功率LDMOS器件，从其结构特点、特性参数等方面进行了阐述，并从其封装、测试和内匹配设计等方面展开了一系列研究工作，实现了对LDMOS器件射频性能的测试，为后续器件版图和工艺的改进与优化明确了方向，具有指导性的作用。本文首先介绍了射频横向双扩散功率金属氧化物器件所涉及理论基础，结合现有的工艺加工能力，对所研发器件的结构特点进行了说明。然后从减小散热热阻的角度研究了封装对器件性能的影响，从而优化了封装外壳，提高了器件工作的可靠性。再从测试系统着手分析，研究了不同类型的负载牵引测试系统的特点，并在搭建的负载牵引系统上，实现了器件的射频性能测试。最后重点进行了内匹配设计的研究，提出了一种基于S参数的内匹配设计方法，解决了大功率器件由于栅宽过大而引起的阻抗过低的问题，并举出了设计实例以及负载牵引测试结果来进行验证。