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微机电系统是近年来发展最为迅速的一门新型多学科交叉技术,因其移动性、自控性、集成化等特点,决定了其能源器件也要朝着小型化、微型化的方向发展。传统的化学电池因存在诸多弊端,如体积大、质量重、供电寿命短、环境污染大等,正逐步被微型太阳能电池、微型燃料电池、微型化学能电池、风能发电机、太阳能发电机、热能发电机等代替。但这些微型能源或受到使用寿命的限制,或受到工作环境的限制,在实际的应用中会带来许多的不便。近年来,研究人员又将目光投向了基于力电耦合材料的微型能源,此类能源不需要其他的感应器和转换器,