随着微电子技术的快速发展，电子设备趋于小型化和微型化。集成度的快速提高使得“热点”问题愈加突出，已成为微电子工业发展的瓶颈。因此，高效的散热手段是推进电子行业进一步发展的重要环节。平板微热管具有体积小、均温性好、易与芯片等电子器件贴合、传热能力强、环境适应性好等特点，具有较大的实用价值。本文设计并制作了矩形不等宽微槽道平板热管，分析槽道结构对平板微热管传热特性的影响。　　本研究依据微热管的实验原理，基于微槽道结构参数对毛细力的作用，利用有限元分析软件ANSYS，研究了矩形槽道的深度、宽度、宽窄比与平板微热管传热特性的关系。仿真结果表明：微槽道宽度和深度的增加能有效提升平板微热管的传热能力，增加宽窄比能够加强毛细驱动力，促进液态工质的回流。此外，设计了三种蒸汽腔高度的平板微热管，用于分析蒸汽腔高度对微热管传热特性的影响。在此基础上，采用MEMS加工技术完成平板微热管制作，并利用微热管测试平台对热管的温度分布数据进行采集分析。测试结果表明，平板微热管的最佳槽道充液率在130%左右，微槽道深度、宽度的增加有利于提高槽道内工质与外界的换热效率，提高平板微热管的均温性。微槽道宽窄比的增加可提供更大的毛细回流驱动力，提高平板微热管的传热效果。蒸汽腔高度为2mm的平板微热管工作温差较小，传热能力较强。