【摘 要】
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本论文的工作主要分为两个方面：对磁力显微镜及其检测方法本身的研究和使用磁力显微镜研究薄膜磁畴结构的变化。磁力显微镜及其检测方法部分主要探讨了磁力显微镜的成像原理，着重研究了针尖状态影响磁畴成像的因素，以及减弱或消除这些影响的方法。应用磁力显微镜研究薄膜磁畴结构的变化部分主要研究了工艺、外加应力与剩余磁化强度对软磁薄膜磁畴结构的影响。实验结果表明：通过MFM观察不同厚度Co_(60)Fe_(20)B
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本论文的工作主要分为两个方面：对磁力显微镜及其检测方法本身的研究和使用磁力显微镜研究薄膜磁畴结构的变化。磁力显微镜及其检测方法部分主要探讨了磁力显微镜的成像原理，着重研究了针尖状态影响磁畴成像的因素，以及减弱或消除这些影响的方法。应用磁力显微镜研究薄膜磁畴结构的变化部分主要研究了工艺、外加应力与剩余磁化强度对软磁薄膜磁畴结构的影响。实验结果表明：通过MFM观察不同厚度Co_(60)Fe_(20)B_(20)软磁薄膜的磁畴结构，发现垂直各向异性随着薄膜厚度的增大而逐
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