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作为固体润滑材料,WS2以其优异的摩擦学性能在航空航天、机械加工、微电子等领域有广泛的应用价值。但是纯WS2薄膜的承载能力较低、且易在潮湿空气中吸潮氧化,从而缩短了其使用寿命。为提高纯WS2薄膜的承载能力及服役寿命,本研究以WS2、石墨和纯Ti为靶材,采用孪生靶中频磁控溅射、直流磁控溅射结合离子增强的方法,在单晶硅片及TC4合金(Ti6A14V)基体表面制备了WS2和WS2-C复合薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、Raman光谱仪、金相显微镜(OM)、显微