丝网印刷钡铁氧体厚膜及其在集成环行器中的应用研究

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M型钡铁氧体材料由于具有高的磁晶各向异性场和较大的饱和磁化强度,从而可广泛应用于自偏置毫米波铁氧体环行器。随着微波电路集成化发展,迫切需求与基片集成的铁氧体薄膜/厚膜环行器,因此,将铁氧体以薄膜/厚膜形式与基片集成而制备的铁氧体环行器研究受到了人们的广泛关注。本文采用丝网印刷的方法制备钡铁氧体厚膜,研究了不同工艺条件对钡铁氧体厚膜性能的影响。实验结果表明,球磨时间对BaM厚膜表面形貌影响不大,随着球磨时间的增长,样品的剩磁比、矫顽力变化都不明显。采用轧制方法对厚膜浆料分散有利于提高厚膜性能
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