规模化DBD等离子体源中的介电效应与光谱诊断

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大气压介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge,DBD)非平衡等离子体作为一种绿色技术在环境领域的应用方兴未艾,目前中小型大气压DBD等离子体源已经在有机废气治理等方面取得了一定成果。但是在船舶压载水处理等需要大规模等离子体的场合,现有的等离子体源还无法满足其要求。阻碍规模化DBD等离子体源发展的主要问题有:理论基础薄弱、电介质材料性能低、系统难以匹配、效率低下等。为了发展规模化高效等离子体源,本文结合国家自然基金项目“气体电离放电治理外来微生物入侵性传播研究(60371035)”,对规模化DBD等离子体源电介质材料进行了研究,并应用发射光谱诊断DBD中的电子激发温度。 根据DBD等效电路分析电介质层在DBD中的镇流作用机理,结合电介质镇流作用讨论了DBD中微流光的形成过程。研究发现电介质层是DBD中产生和维持微流光放电的关键,电介质的介电效应对DBD放电性能的影响至关重要。 基于高纯度α-Al2O3和以SiO2为主要成分的特种搪玻璃材料的实验研究表明:Al2O3的介电性能优良,在经历温度从23℃到200℃的变化过程中,介电常数变化量仅为0.19。AFM、XPS、AES测试显示,老化实验后Al2O3内部的主要元素含量未发生明显变化,表明它可以经受住强电场和高活性等离子体的长期作用,具有作为规模化DBD电介质材料的潜质,但目前加工成本很高,构形困难。采用低温长烧工艺将特种玻璃材料烧结在钢管内壁制作成DBD放电管。实验表明搪玻璃的介电常数均值为5.4,在自身温度经历骤变时,介电性能变化量甚微。搪玻璃的介电性能虽然不及Al2O3,但它易于加工,和电极结合紧密,价格低廉,可以用于规模化DBD电介质层的制备。 应用USB2000紫外可见发射光谱仪对Al2O3和搪玻璃DBD进行诊断。在放电媒质为氩气,流量为0.1m3/h,放电电压1kV时,二者的电子激发温度分别为0.33eV和0.29eV,电子激发温度的诊断为构建大规模DBD放电源提供了参考。
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