工艺设计套件(Process Design Kit)是为模拟/混合信号集成电路设计而提供的完整设计文件的集合，是连接集成电路设计与集成电路工艺制造的完整数据平台。为了开发出性能优越的PDK套件，本文通过对PDK不同开发方式的比较，证明了基于PDKAutomation System(PAS)工具对PDK实现优化开发的优越性。并以此为基础，通过对0.13um RF工艺PDK套件的技术文件、CDF参数以及参数化单元(Pcell)的开发，研究并讨论了在PDK开发过程中所采用的设计流程以及设计方法。其中，对于PDK的核心组成部分CDF参数以及参数化单元(Pcell)的优化开发，文中进行了详细的介绍。在器件参数化设计(Pcell)方面，文中通过对器件结构的细致分析，在传统设计方法的基础上对器件参数化设计方法进行了优化，提出镜像复制、整体复制以及层次归纳等多种结构优化算法，并以此设计出源程序可读性和可维护性优良、Pcell运算速度快、执行效率高的器件参数化单元。另一方面对于CDF参数的开发，文中通过对写回程序(callback)的定义，实现了对CDF参数的多种操作功能，在CDF参数间建立了简单有效的传递关系，有效解决了CDF参数输入超出工艺以及模型量测范围的难题。在PDK开发的后期验证中，针对于目前以人工建立Pcell测试模型的传统验证方法，文中提出了采用程序实现自动化建立Pcell测试模型的Pcell验证方法，大大增加了建立测试模型的数量，从而使得Pcell验证结果更具代表性、准确性。此外，为使PDK能够与IC设计更加紧密的结合在一起，文中第四章提出了利用汇编语言建立PDK套件自动化设计平台的设计思想。通过利用SKILL语言、Perl语言完成IC设计辅助功能以及自动化平台的设计，介绍了在利用程序实现自动化设计中所采用的设计方法以及主要设计思路，讨论了在PDK套件自动化设计中遇到的关键问题。其中，通过对版图编辑(Virtuoso)、CIW(Command Interpreter Window)窗口等设计工具以及PDK套件中CDF参数的细致分析，文中基于SKILL语言实现了隔离环(Guard ring)绘制、简化层次显示(LSW)窗口、仿真格式显示、PDK参数更新等功能。不仅减少了设计人员在设计中大量的重复工作，而且还有效解决了PDK新旧版本更替时CDF参数无法正确传递的问题。同时，针对传统PDK套件繁琐的调用、安装过程，文中利用Perl语言对PDK套件进行平台化设计，实现了PDK套件自动化调用与安装，完成了设计辅助功能与PDK套件有效集成，从而建立起PDK套件的自动化设计平台。