超精密加工是现代尖端产业重要的生产技术,其不仅要求高精度、高质量,而且要求低成本和高的再现性。而超精密研磨抛光由于具有独特的加工原理和对加工设备、环境因素要求不高等特点,可以实现纳米级甚至原子级的加工,已成为超精密加工技术中的一个重要部分,实现超精密研磨抛光的关键材料是精密研磨制品。金刚石微粉具有硬度高和耐腐蚀等优点,成为精密研磨制品的首选原料。本文利用HLB值较低的非离子表面活性剂作为改性剂,以烷烃类溶剂作为改性介质,高能超声作为分散手段对纳米金刚石表面进行接枝改性。通过毛细管法和黏度法研究改性前后纳米金刚石粉体的亲油疏水性,通过红外光谱（FTIR）和热分析研究改性剂在粉体表面的吸附效果。结果表明:用Span-60可以对纳米金刚石表面进行湿法改性,而且改性后纳米金刚石表面由亲水性变成亲油性。改性剂在纳米金刚石表面发生了化学吸附,使其在有机溶剂中的分散性更好。采用改性过的纳米金刚石粉体作为研磨剂,从几种轻质油中选择合适的分散介质,并加入表面活性剂,超声分散后再经离心处理制成了油基纳米金刚石抛光液。研究了分散剂的种类及其用量、超声时间、离心转速和时间对抛光液性能的影响,并对抛光液的分散性、抗氧化性和抛光性能进行了表征。结果表明:以白油作为抛光液的分散介质较合适;DBS和PEG复配的分散效果最好;150W超声20min时,悬浮液的沉降量趋于最小值;2500r/min离心处理30min后,抛光液的二次粒度趋于最小;单晶硅片抛光后表面粗糙度达到0.306nm。将改性后的单晶金刚石微粉与树脂胶混合,制成料浆,流延涂布于聚酯薄膜基带上,经干燥固化制成金刚石精密研磨膜。研究了影响料浆性能的因素,流延机刮刀的高度、料浆液面的高度、流延速度、干燥温度和料浆的黏度及磨料的固含量对研磨膜质量的影响,并对研磨膜进行了表征。结果表明:流变剂气相二氧化硅加入量为1.8%时,剪切速率为10s^-1时料浆黏度由190mPa.s提高到260mPa.s;行星磨600转/分磨30分钟后料浆的沉降量趋于最小值;随着磨料粒度的减小干膜表面的Benard涡流会越来越明显;在料浆黏度由25s降低到15s（涂4杯）时,干膜表面的流痕消失;随磨料含量增加,研磨膜的磨削比增加,拉伸强度降低。