利用相位型光瞳滤波器实现远场光学超分辨的研究

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无论是源于人类本身对未知世界探索的渴望,还是现代工程技术的各种需要,对微观领域的高分辨率成像都是一个十分重要的研究课题。这一课题中最有价值的目标之一就是突破光学衍射极限,相关的光学超分辨技术是实现这一目标的主要手段。本文首先对国内外超分辨技术研究的历史和现状做出了详细的总结,并选择了远场光学超分辨技术中的变迹术作为主要的研究方向,对变迹术中的超分辨光瞳滤波器技术做了重点研究。本文以衍射光学理论为依据,引出了超分辨效果的评价方法,以此为基础分析了连续型相位光瞳滤波器对光学成像系统成像效果的影响。针对当前相位型光瞳滤波器研究中的若干盲点,提出了一种多项式函数形式的相位型光瞳滤波器的设计方案。并使用MATLAB数学软件完成了这一方案,证明此种光瞳滤波器可以实现三维超分辨。文章最后给出了其与一种典型三区型相位光瞳滤波器的超分辨效果的对比。通过对比可以发现,在分辨效果的改善上,横向分辨率有明显提升,但施特尔比会有所下降。由于此种形式光瞳滤波器可以通过提高多项式次数来增加可调参数,因此其对超分辨效果的提升还有一定的改善空间。此外,本文关于多项式函数形式的相位光瞳滤波器的计算结果,对实际中制作连续相位型光瞳滤波器亦有一定的参考价值。
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