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本课题所研制的面阵CCD-微机系统尺寸自动测量仪取代了传统的工件尺寸测量仪，实现对小尺寸工件的非接触、高精度、自动测量。二维尺寸测量采用相对测量的方法，通过对标准工件的测量并将其结果储存于内存中，再逐一对被测工件测量，得出被测工件的尺寸偏差。三维尺寸测量采用交汇测量的理论，通过被测工件的俯仰角和方位角大小得到其三维尺寸。采用此种方法可加快测量速度，提高测量精度，而且操作容易。测量精度不随着环境：温度、湿度、气压的变化而改变。 实验表明，此二维测试系统的相对测量精度达到0.29％，绝对测量精度达到3.0μm。并且，可用于生产线，实现工件的在线测量。