具有热致和光致相变的VOx薄膜的制备及其特性研究

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【摘要】

：

钒氧化物的相变特性于半个世纪前被贝尔实验室的研究人员所发现。在这些钒氧化物中，二氧化钒(VO2)在68℃附近会发生可逆的一级金属-绝缘相变，其电学、光学、磁学等特性发生极大变化。因此其被广泛研究应用于太赫兹器件、光电开关、相变存储器、智能窗、微热辐射热计等领域中。二氧化钒薄膜材料由于制备方法不同，其相变性能诸如相变温度、幅度、热致宽度、THz透射比会有很大的变化。加之制备纯度高的VO2薄膜较为困难

【作者】

：

朱乃伟

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2014年12期

【关键词】

：

VOx薄膜热致相变光致相变快速热处理 THz调制

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