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通过进行不同工艺热处理、蠕变性能测试及组织形貌观察,研究了热处理工艺对FGH95合金组织结构与蠕变性能的影响,并探讨了合金在蠕变期间的变形与断裂机制。进一步采用热力学方法计算出碳化物的析出温度,及碳化物的析出相变驱动力和形核驱动力,预测出碳化物的优先析出顺序。结果表明：FGH95合金主要由γ基体、γ’相和碳化物构成,经1120℃热等静压时,合金中原始颗粒边界区域存在粗大γ’相,原始颗粒内细小γ’相沿相同取向规则排列；经1180℃热等静压时,粗大γ’相完全溶解,晶粒尺寸明显长大。再经1150℃固溶处理后,细小γ’相和碳化物在合金中弥散析出；随着固溶温度提高,合金中粗大γ’相数量逐渐减少,碳化物数量逐渐增多。经1160℃固溶处理时,粗大γ’相完全溶解,晶内弥散分布高体积分数γ’相,且粒状MC和M23C6碳化物沿晶界和晶内不连续析出。合金经1165℃固溶处理后,晶粒明显长大,且片状碳化物沿晶界连续析出。1180℃HIP合金经1140℃固溶、480℃盐浴冷却及时效处理后,少量粗大γ’相沿晶界不连续分布,并有较多粒状碳化物沿晶界和晶内析出,其中,沿晶界析出的粒状碳化物可提高晶界结合强度,有效阻碍位错运动,是该合金在650℃和1034MPa条件具有较长蠕变寿命的主要原因。在实验应力和温度范围内,可计算出450℃、480℃盐浴合金的蠕变激活能分别为：Q1=519.8kJ/mol和Q2=579.4kJ/mol.合金在热处理期间可析出NbC. TiC碳化物,并确定出合金中NbC.TiC碳化物的析出温度分别为1353K和1090K；因此,合金在热处理期间可形成较多的(Ni,Ti)C碳化物相。在583℃合金中析出TiC. NbC.WC碳化物的相变驱动力分别为：一9.77J/mol、-11.23J/mol和-13.48J/mol,形核驱动力分别为：一80.69J/mol、-59.95J/mol、-36.01J/mol.合金在蠕变期间的变形机制是位错可在基体中滑移或切割γ’相,当位错切入γ或γ’相时,可分解形成两肖克莱不全位错和层错的位错组态可抑制位错交滑移,提高合金蠕变抗力。