本文针对低温等离子体技术处理挥发性有机物(VOCs)进行了研究。根据等离子体的基本理论，得出了等离子体处理VOCs的机制：在放电反应产生的活性粒子(如高能电子、臭氧、自由基等)的作用下，发生一系列的物理化学反应，使有害的VOCs转化成无害的物质。其可能的途径是：首先，高能电子经过与目标分子发生非弹性碰撞，将能量全部或部分传递给分子，使其裂解，激化等；接着，上述被高能电子裂解、激化的分子在臭氧和氧等离子体的作用下，被氧化成CO2、CO和H2O。 在VOCs的去除实验中，以苯、甲苯和甲醛作为研究对象进行。 在工频电源条件下探讨了施加电压、电场强度、气体停留时间和进口浓度这些因素对污染物去除率的影响。实验结果表明，污染物的去除率随着施加电压的增加而提高，随着电场强度的增加而增加，随着停留时间的增长而增加，随着进口浓度的增加而降低。这些因素对于污染物去除的影响程度不同，其影响程度由大到小依次为施加电压(电场强度)＞气体停留时间＞进口浓度。 在高频电源条件下，围绕电源参数、反应条件参数以及反应器参数与污染物去除率之间的关系进行了实验研究。实验结果表明，污染物去除率随着施加电压的增加而提高；随着放电电流的提高而提高，随着放电功率的增加而提高；随着停留时间的增长而增加，随着进口浓度的增加而降低，但降低趋势不明显。在相同实验条件下，苯、甲苯和甲醛的降解性大小依次为：甲苯＞甲醛＞苯，甲苯最容易降解。反应器直径增大，污染物去除率降低；有效反应长度越长，污染物去除率越高；通过以铜和钨两材料作为内电极进行对比实验得出以钨材料为内电极的反应器对于污染物的去除效果优于以铜材料为内电极的反应器；内电极直径较大的反应器对于污染物的去除率较高，并且其尺寸存在一个最佳值。此外，高频电源在污染物去除方面优于工频电源，其更适合工业应用。 围绕在反应器中添加填料对污染物去除率的影响进行了实验研究，以钛酸钡和亚硝酸钠两种物质作为填料进行实验。结果说明加有钛酸钡和亚硝酸钠填料后可有效提高苯、甲苯和甲醛的去除率，加有钛酸钡填料的反应器比亚硝酸钠的反应器更有利于对污染物的去除。 通过对该技术运行费用的分析，得出在空管反应器中，反应条件均相同的前提下，去除单位体积的苯、甲苯和甲醛气体需要的能量分别为0.65kWh、0.226kWh和0.312kWh，费用分别为1.89元、0.66元和0.90元，三种污染物去除的难易程度依次为苯＞甲醛＞甲苯。 实验确定了苯、甲苯和甲醛三种污染物的降解速率常数，分别为3.2×10-4L/W·s、4.5×10-4L/W·s和3.8×10-4L/W·s，其大小顺序依次为甲苯＞甲醛＞苯。