本文分析了压电型精密运动机构的研究现状,结合国家863 计划项目“压电型多自由度精密驱动器开发研究”,提出了以压电双晶片作为精密运动机构驱动元件的设想,并开展了相应的研究工作。推导了双晶片的运动微分方程和挠度微分方程,给出了边界条件,并进行了有限元解析;测试了不同结构参数双晶片的出力/位移特性和非线性特性,确认了金属层两端固支方式下的双晶片可以满足精密驱动的要求。设计制作了利用粘滑原理致动的压电式平面精密运动机构样机及其电控单元;建立了粘滑型运动机构的动力学模型,并进行了仿真分析;仿真和实验结果均表明,利用压电双晶片可以驱动小型机构实现平面内的多自由度精密运动。论文针对压电双晶片驱动的精密运动机构进行了系统的研究工作,为构建将机械单元和电控单元集成于一体的、具有自主运动能力的压电晶片式小型平面运动机构奠定了良好的研究基础。