随着半导体技术的不断进步,采用隧道效应技术制作的面阵半导体激光器功率越来越大,加之半导体激光器具有体积小、质量轻、光电转换效率高、使用寿命长易于直接电调制等优点,在科研和工程领域有极其广泛的应用,这是其它激光器无法比拟的。但半导体激光器属于线状结面发光线光源,又由许多线光源堆积成面光源,在垂直和平行于结面方向的发射角差异大,最终导致出射的光斑空间分布成椭圆形,光束质量差,光能量利用率低。因此在许多应用领域中,必须利用光学手段进行光束整形、多光束合成,以获得一个功率较高、光斑均匀性较好的半导体激光光源。这就需要准确的对半导体激光器的光斑功率密度分布进行测试,为激光器件的筛选,及光学系统设计提供依据。本课题使用光电二极管构成一个圆形探测单元,每个探测单元经各自的Ⅰ-Ⅴ变换电路将光电二极管所获光电流线性转换成电压信号,然后对输出电压信号进行采集,在实施数字化转换时,采用了同步采集、分时输出的技术方案。这有利于在一次采集中,减少因光源输出变化而引入的偏差。这个方案在测试激光光束功率分布时具有数据实时性的好处,排除了逐一采集速度慢和光源变化带来的影响,数据采集、处理自动处理,有利于提高工作效率。测试装置加装精密移位机构后,可以适应光束不同尺寸和测试位置的测量,通用性较好。