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随着现代光学技术的飞速发展，在极紫外光刻和惯性约束等高精度光学系统中，为了确保光学系统的成像质量满足要求，系统中的各光学元件在全频段均需达到高精度。干涉仪作为检测光学元件低频面形的检测设备，被广泛应用于现代光学检测中。而干涉仪的仪器传递函数由于能够客观地反映其空间频率响应特性而成为干涉仪的一个重要性能指标。本文针对干涉仪的仪器传递函数展开研究，首先介绍了其概念、检测基理及测试原理，并对其测量方法展开研究，针对实验室的干涉仪产品，进行了检测实验分析，利用功率谱密度法和台阶法对比分析干涉仪的仪器传递函数