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基于“近红外600 mm口径移相平面干涉仪”研究项目,研究了大口径平面面形检测方法、粗糙光学表面面形干涉测量方法、面形评价参数计算等方面的有关原理与技术。研究了瑞奇-康芒法的检测原理,对瑞奇角、表面面形误差、波前像差三者之间的关系进行了详细的公式推导;采用将被测平面沿其法线旋转,在不同旋转角度下进行多次测量的方法,消除了面形误差对波像差的影响;分别用瑞奇-康芒法和直接检测法对100mm口径平面面形进行检测,两种方法取得了一致的测试结果,验证了瑞奇-康芒法的有效性。研究了入射角