论文部分内容阅读
针对改良西门子法中流程长、能耗高、三氯氢硅利用率低等问题，硅烷法生产多晶硅由于具有能耗低、硅烷转化率高和产品纯度高的特点，近年来越来越受到人们的关注，本文对三氯氢硅歧化制取硅烷和硅烷热分解制备多晶硅工艺过程进行了研究。针对三氯氢硅歧化制取硅烷的过程，提出了单塔反应精馏和双塔反应精馏两种工艺流程，借助流程模拟软件Aspen Plus分别建立了两种流程模型，反应模型采用考虑反应动力学影响和化学平衡限制的平衡级模型，对两流程进行了流程优化和经济评价。单塔反应精馏流程可以在塔顶得到纯度99.9%的硅