飞秒激光具有超高峰值功率和超短脉冲宽度。利用飞秒激光加工材料时热效应小。因此,自从飞秒激光诞生以来,飞秒激光加工材料表现出了很好的应用前景,同时,引起了科学家的注意。本文主要包括：搭建了基于激光加工周期条纹结构的单纳米凹槽结构实验系统,实现飞秒激光加工ZnO超分辨纳米光栅结构和纳米方块结构。搭建了基于受激辐射耗尽方法的聚合物超分辨纳米加工实验系统,实现了聚合物纳米结构的超分辨加工。主要研究内容如下：(1)搭建了飞秒激光加工单凹槽纳米结构实验系统。我们利用数值孔径为NA=1.2的水浸物镜,通过精密控制激光功率和脉冲数,在ZnO晶体表面制备了宽度约为30nm的单凹槽纳米结构。我们还研究了纳米凹槽结构形成与激光能量密度和加工速度的关系。利用压电陶瓷移动样品,我们制备出了周期为15onm、300nm和1000nm的纳米光栅,并制备出了尺寸为150nm×150nm和150nm×250nm的方块结构。(2)搭建了基于受激辐射耗尽方法的超分辨聚合物纳米加工系统。我们使用波长为800nm飞秒激光作为聚合光,波长为532nm环形光作为阻聚合光,利用大小为100nm的金纳米颗粒扫描激光焦点,通过利用两个光电倍增管分别探测聚合光和阻聚合光的散射光,实现同时对两束光焦点处光强分布的探测。我们利用电控镜架实现了基片所在的平面和压电陶瓷竖直移动平面相互平行。利用加工点阵方法实现了将焦点精确定位在盖玻片和光刻胶的交界面。我们研究了聚合物纳米线宽度随阻聚合光功率的变化关系,实现了最小线宽为93nm的聚合物线。同时,研究了不同聚合光功率情况下聚合物纳米线尺寸的变化关系。我们研究了聚合物纳米点直径随阻聚合光功率的变化关系,实现了最小直径为81nm的聚合物纳米点。