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近年来，随着微电子器件小型化的发展，迫切需要有相应尺寸的微型供能系统与之相适应，电源系统的微型化是微电机械系统得以进一步广泛应用的关键技术之一。锂离子电池由于其优异的储能特性与循环性能成为能源系统微型化的热点方向之一，目前学术界对于可替代低化学反应活性的非锂负极膜材料的研究与开发异常活跃。 硅因具有最高的理论嵌锂容量(4200mAh／g)而受到人们的关注，但硅作为负极材料在嵌锂过程中因大的体积膨胀而导致循环性能很差。通过缩小硅材料的尺寸将其纳米、薄膜化使硅电极材料拥有高容