随着对太阳能技术的关注的不断提升，对于作为制备太阳能电池的主要原材料的晶硅体的研究也在不断的进行，目前普遍遇到的问题是如何进一步提升晶硅体吸收光能的能力。相比较于其他硅材料来说，黑硅对于光能的吸收能力更强，在光学领域的应用也更为广泛，其相关的制造工艺、手段也成为了当前太阳能技术研究和开发的重点。本文的研究旨在通过有效利用两种湿法腐蚀的原理，对黑硅材料进行制备，使其表层形成微结构化。在研究的过程中，将目前研究相对成熟、应用相对广泛的氮化硅减反膜技术作为主要的研究对象，通过反复地对各类工艺进行测试，确认相关参数对于该技术的影响，反复对比测试结果，最终确定了最佳的参数匹配方案。主要研究结果如下：
　　(1)分析样品表面纳米孔径与腐蚀的关系。腐蚀液中KOH的浓度、腐蚀温度和腐蚀时间是对反射率影响最大的2个因素。从反射率来看，当实验温度70度，KOH固体浓度为2.5g/L，腐蚀时间为1分钟时，硅片表面反射率最低，在300-1050nm波段上平均反射率为11.28%。
　　(2)贵金属Ag成本较高，研究发现可以添加Cu离子作为氧化还原反应的催化剂。离子混合时，附着量均有所增加，Cu原子所占百分比的增加比较明显，从5.95增加到11.1，Ag原子所占百分比也从1.35增加到1.55，有15%的增加。为降低贵金属Ag的使用量提供了很好的思路。
　　(3)对与纳米孔径与电池效率之间的关系也进行了客观的分析和探讨。金字塔结构较大时，反射率会低0.5-1.0%，短路电流会增大。总体说来，金字塔结构变化引起变化约0.1-0.15%。
　　(4)金属辅助化学刻蚀(Multi-Conformation Continuum Electrostatics,MCCE)和碱液调控技术是可以有效结合的，将两种技术结合起来应用于太阳能电池的制备，产品的转换效率更高。表面微结构技术在太阳能电池原材料方面的应用，将极大地提升电池的转换性能以及效率，对整个行业的发展有着不可低估的推动作用。