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铁电材料因其具有铁电、压电、热释电等特性而在信息储存、通信、导航、精密测量、机械等众多领域得到广泛的应用。随着微电子技术的发展和高度集成化趋势，需要有能起到与大块铁电材料相同性能的铁电薄膜材料。因此，铁电薄膜材料的制备和性能研究成为目前国际上高度关注的课题。铁电薄膜是多晶薄膜，它的特性受到相应单晶体的性能以及晶粒取向分布的双重影响。由于单晶体性能的强各向异性，铁电薄膜的所有物理特性