自从‘1907年Badeker首次发现CdO薄膜同时具有透明与导电特性以来,对于透明导电氧化物的研究突飞猛进。目前透明导电氧化物(TCO)薄膜已经形成了以氧化铟、氧化锡和氧化锌为主体材料的三大体系,其中氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜以其低电阻、高透过率、易刻蚀等优良特性成为商品化的主流产品,被广泛应用于平板显示技术、太阳能电池、触摸屏等领域。但铟为稀有元素,面临原材料耗尽的问题。以氧化锌为主体的TCO薄膜成本低廉、光电性能优良,但可靠性和稳定性方面尚有不足。以氧化锡为主体的FTO薄膜则存在造价高和难以刻蚀的问题。随着光电子技术的不断进步,TCO薄膜在提高光电性能的同时,也向多功能方面发展。本文研制了稀土离子氟化物掺杂的氧化铟及氧化锌透明导电薄膜,主要的研究成果如下：(1)用电子束镀膜技术首次制备了氧化铟掺杂氟化铒(IEFO)透明导电薄膜,并研究了其光学特性和电学特性,结果表明IEFO薄膜光电特性可以和商用ITO相比拟,其电阻率为5.490×10-4Ω·cm,迁移率42.35cm2/Vs,载流子浓度2.685×1020cm-3,可见光(380～780nm)平均透过率81%；用IEFO薄膜制备了聚合物太阳能电池器件。(2)首次制备了氧化锌掺杂氟化铕透明导电薄膜。其电阻率为8.552×10-4Ω·cm,迁移率30.84cm2/Vs,载流子浓度2.366×1020cm-3,可见光透过率77.1%。并制备了聚合物太阳能电池。