无氢类金刚石薄膜的制备及其摩擦学性能研究

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【摘要】

：

采用实验室高真空多功能沉积设备通过离子束溅射(ion beam sputteringdeposition,IBSD)、离子束辅助沉积(ion beam assisted deposition,IBAD)、等离子体浸没注入与沉积(plasma immersion ion implantation and deposition,PIII&D)等气相沉积方法的功能复合,在Ti6Al4V合金上沉积了类金刚

【作者】

：

刘建立

【机构】

：

河南大学

【发表日期】

：

2009年06期

【关键词】

：

类金刚石薄膜 Ti6Al4V合金摩擦学性能腐蚀行为

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