作为一种新型功率部件,毫米波功率模块(MMPM)在新一代电子战系统中扮演着举足轻重的角色,是相控阵雷达等大功率器件中不可分割的一个部分。毫米波功率模块是由集成电源调制器、毫米波固态驱动放大器和行波管放大器三部分组成的,已被广泛的应用在多种军事设备以及电子战系统中。毫米波固态驱动模块服务于后级行波管放大器,为行波管放大器提供所需的驱动功率及增益均衡,在每个工作频率点处准确的为行波管放大器提供最佳的输入功率,从而达到输出功率不发生幅度畸变的效果。增益均衡器是解决行波管放大器的增益不平坦问题的关键器件。较好的增益均衡效果是毫米波固态驱动放大器为行波管提供合适准确的驱动功率的前提,也必然是毫米波功率模块(MMPM)得到较好整体性能的保证。均衡精度和端口驻波系数是增益均衡器的两个重要指标,是增益均衡器设计的重点和难点。本文研究了毫米波增益均衡器的设计步骤以及关键参数优化等,并以此为指导使用了基于微带形式的阶跃阻抗谐振单元(SIR)为基础的陷波单元,以级联形式设计实现了几款不同性能的增益均衡器。并提出了以折叠型阶跃阻抗谐振单元为陷波结构设计增益均衡器,对增益均衡器的设计起到了简化效果。实验结果表明各个频率点的均衡精度和端口驻波都满足预期要求。本文进一步设计了一款8mm固态功率驱动模块。采用功率合成、增益均衡、波导隔离器等技术以及使用有效的放大器单片完成了毫米波固态驱动模块的研制。结果表明:该模块在-5dBm~0dBm的输入功率范围内都能保持长时间正常工作,在32-40GHz达到了最大输出功率大于23dBm,均衡量达到13dB,驻波系数以及各个频点的均衡精度均达到要求。对进一步设计更高频率、更高均衡精度的固态功率驱动模块或者MMPM有其参考意义。