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载流子的迁移率是半导体材料的重要特性参数。通过对迁移率的测量,可以准确掌握不同材料的电输运特性。因此,方便、准确地测量半导体载流子的迁移率,对半导体的研究和生产都具有重要的意义。 随着科学技术的进步,出现了新的测试仪器——虚拟仪器。虚拟仪器是基于计算机的测试平台,具有交互式的图形界面。由计算机、应用软件和硬件组成,通过软件把计算机硬件资源和仪器硬件有机融为一体。本文介绍了虚拟仪器的发展和LabVIEW相关知识。 本文分析了几种传统的测量半导体载流子迁移率的方法和仪器。针对传统方法和仪器存在的测试条件苛刻、精度不高、设备昂贵等缺点,文中根据线性增压载流子瞬态谱这一原理,以LabVIEW为平台设计了一种半导体载流子迁移率测试系统。详细介绍了该系统各部分的硬件组成,详细论述了系统软件的各功能模块的设计和实现方法,其中包括线性增压控制模块、数据采集、数据存储与回放等功能模块。 最后,对该半导体载流子迁移率测试系统进行了调试和测试实验,并对测试结果进行了分析。实验结果表明,所研发的测试系统,运行稳定,使用简单方便,具有良好的数据保存、回放及数据图形显示功能,同时软件具有参数设置灵活,可二次开发的优点,具有一定的实用价值和发展前景。