3D集成电路TSV自动布局研究

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随着集成电路规模增大,互连线增长,导致互连线上的延迟增加,而影响电路性能和发展,减少集成电路互连线长度就成为了发展集成电路的关键。3D集成电路技术是多层芯片层叠的新兴技术,多层芯片之间通过关键的硅通孔----TSV互连,可有效缩短电路的互连线长度,提高电路性能,是现今集成电路发展的热点。为推进3D集成电路技术的发展,国内外开展了大量3D集成电路自动设计的相关研究。国内外3D集成电路自动布局的相关研究,多集中在TSV制造方法和TSV材料使用领域,而EDA领域关于TSV的研究较少。其中,明确通过TSV布局技术来减少互连线长度、提升3D芯片性能的研究是主流方向。因此,本课题针对该问题,开展研究。提出了TSV中点定位法、TSV区域定位法和TSV网格定位法,以减少3D集成电路互连线长度,提高自动布局效果,优化电路性能。提出了TSV间距调整方法、防串扰TSV调整方法和TSV热学调整方法,以解决TSV间距违反工艺约束、TSV高频工作下的串扰和3D集成电路散热的问题。基于本课题提出的TSV自动布局方法,形成3D集成电路自动布局软件。该软件基于Linux操作系统,通过脚本语言搭建。采用IBM公司的测试电路进行3D集成电路自动布局测试验证,其中包括TSV定位和TSV调整。最终得出布局结果和互连线长度统计等数据。3D集成电路TSV自动布局实验结果表明,TSV区域法定位结果比已报道的布局结果的互连线长度优化11.82%;TSV中点法定位结果比已报道的布局结果的互连线长度优化9.12%,但布局速度比已报道的方法提高了7.79倍;TSV防串扰调整以电路互连线长度增加2.81%为代价,消除了潜在串扰;TSV散热调整后电路互连线长度增加1.18%,TSV散热调整后电路峰值温度降低5.69K。
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