随着物联网技术的蓬勃发展,越来越多的无线设备投入到了网络数据交换领域的使用中。这些无线设备往往依赖传统的电池供电。然而,传统的电池寿命有限,电池的更换和维修又费时费力,成本高昂,这极大的限制了物联网技术的推广和普及。能够实现可持续供电的热电、光电能量收集技术为这种局部电源供电提供了解决方案。本文将热电能量收集技术、光电能量收集技术与MEMS技术相结合,设计了一种热电-光电集成微传感器,用于收集环境中的热能和光能,给无线网络传输节点和小功耗元器件供电。论文分为三个大部分,第一部分包括第一章和第二章,主要介绍研究背景、研究现状、热电能量收集技术、光电能量收集技术以及MEMS技术;第二部分为第三章,首先将热电能量收集技术、光电能量收集技术和MEMS技术相结合,设计了一种热电-光电集成微传感器并分别对其热电结构和光电结构进行有限元分析,然后对整个热电-光电集成微传感器进行系统分析,最后详细介绍热电-光电集成微传感器的加工工艺步骤和版图设计,制作加工热电-光电集成微传感器,并同步制作陪结构——热电结构和光电结构。本文所设计的热电-光电集成微传感器需要对其性能参数进行优化,而由于工艺和尺寸等因素,MEMS材料和传统宏观材料的热电、光电参数具有显著的差异。本文的第三大部分包括第四章、第五章和第六章,主要是结合热电-光电集成微传感器的加工工艺,分别设计与其兼容的电导率测试结构、塞贝克系数测试结构和热导率测试结构。首先介绍测试结构的测试原理,接着设计相应的测试结构,然后利用有限元分析软件对测试结构进行模拟仿真,验证测试结构的合理性,接下来根据热电-光电集成微传感器的工艺步骤,介绍所设计的测试结构的具体加工工艺步骤,并进行相应的版图设计,最终对所设计的测试结构进行流片测试。所设计的热电-光电集成微传感器一方面可以收集环境中的热能,从而解决部分器件的散热问题,改善器件的电磁兼容环境,提高能源的利用效率;另一方面可以收集环境中的光能,从而开拓能源来源路径,延长供电时间,其应用前景将会十分广阔,值得进一步研究与探索。