窄带滤波器是实现窄线宽太赫兹(THz)输出以及测量的关键器件,主要有液晶结构和法布里-玻罗(FP)腔结构。对于大功率系统来说,基于液晶结构的窄带滤波器存在损伤阈值较低的问题,而多采用损伤阈值较高的FP腔滤波器结构。目前,二氧化硅、金属、硅片和锗片等损伤阈值较高的材料,可用于制备FP腔滤波器。当系统的透射峰较窄、光谱自由程较宽时,则需将多个FP腔滤波器级联。为此,本文设计出了两种基于级联双FP腔的THz窄带滤波器结构。主要工作如下：(1)设计出基于金属网栅FP腔结构的THz窄带滤波器,并通过仿真,优化了该金属网栅的结构参数。该结构主要采用本征硅为衬底,并在衬底上制作金属网栅结构作为FP腔的THz反射镜。其制备工艺主要采用微纳制造工艺,本文通过该方法制备出了网栅样品,并测量了其性质,验证了其满足级联双FP腔的要求。虽然金属网栅结构可以通过改变结构参数选择特定的THz反射率,但是调谐不方便。(2)设计出薄硅片FP腔结构的THz窄带滤波器,提出了硅直接作为THz反射镜来构造FP腔,并设计了硅腔镜的厚度。然后用硅的各向异性腐蚀法制备了所设计的特定厚度的硅片,并采用光波测试系统测量了薄硅片的FP效应,精确测量了硅片的厚度。当硅片厚度分别为17.9μm与30μm时,在5mm×5mm的面积范围内厚度变化均小于0.1μm。该硅片因此可以作为FP腔的宽带反射镜。