基于AWG的2bit光延时集成器件的研究与制备

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使用集成光学制备工艺的光波导延迟线的延时精度能够达到亚皮秒量级,能够满足雷达对工作频率越来越高的要求。而相对于无机材料而言,近年来有机聚合物光集成器件因其特有的优势,越来越成为热门的研究课题。聚合物材料在制作光波导时,具有成膜性好,剪裁性和加工性强,以及与衬底的兼容性高的优点。同时,在光的损耗,折射率的控制,热稳定性等性能方面的实验和进展表明,聚合物将成为低成本,高性能的光集成器件的基础材料。本论文首先对平板光波导理论以及阵列波导光栅的工作原理进行了详细的研究。并以光波导理论和光的耦合模理论为基础,根据AWG的工作原理和各参数特性。设计出了工作于通信波长的1×8阵列波导光栅,并用Rsoft软件进行了模拟和参数的优化。然后根据制作所需的流程,对制备工艺进行了详细的探究和分析,得出了完整的工艺流程和参数。选用了ZPU13系列的有机聚合物作为波导的芯层和包层材料。制备出了波长间隔1.6nm的1×8阵列波导光栅并进行了测试。测试结果表明器件成功实现了对中心波长为1550nm的输入光的波分复用功能,平均波长间隔为1.6nm,插入损耗小于-20dB,3dB带宽1nm,符合设计的预期效果。接着通过进一步优化AWG的设计,单片集成AWG及延时线阵列,制备出了具有光学真延时效应的2bitAWG基光学真延时线,波长间隔为1.6nm。输出的四种波长分别具有0ps,40ps,80ps,120ps的延时量。证明了设计方案的可行性,为下一步集成光学真延时系统研究奠定了基础。
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