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随着传统存储器件的尺寸越来越达到其缩放极限,下一代非挥发性存储器的开发研制受到人们极大地关注。电阻随机存取存储器由于其具有结构简单、存储密度高、低功耗、写入和擦除速度过程非常快等优越的特性成为其中最具竞争力的候选对象。近年来,具有简单成分的二元过渡金属氧化物,比如CuO和TiO_2,在未来非挥发性存储器的应用上面引起了科学家极大的研究兴趣。本文中,我们主要研究CuO纳米颗粒薄膜和TiO_2纳米介孔薄膜的电阻开关特性。在第二章中,我们利用离子束溅射结合高温退火的方法在普通玻璃基底上制备了氧