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随着近二十年来微电子机械系统(MEMS)技术研究的不断发展,逐渐产生了一个新的分支领域Bio-MEMS。随着人类对自身的生命健康越来越关注,生物医疗领域MEMS器件(Bio-MEMS)的应用也逐渐成为近年来微/纳米工程领域的研究热点,特别是对生物假体(可植入的药物传输系统、神经刺激器及骨骼生长刺激器)的应用。在这些假体当中,Bio-MEMS器件用于神经接口的信号记录和活性刺激,为神经专业开辟了很大的机会,建立了中枢神经及外围神经系统的人机交换界面。因此,作为神经系统的关键环节,微电极阵列的研究已经成为目前的研究热点之一。一个新的问题也随之出现,就是可以使用可植入的微电极去刺激人的胃迷走神经来帮助那些具有饮食困难的人。本文围绕植入式柔性微电极设计及其工艺制备过程展开研究,主要通过SU-8斜曝光技术、LIGA-like工艺、磁控溅射、图形转移制备基于PDMS薄膜的柔性生物微电极。基于生物医学和临床的考虑,首先是从较细的老鼠胃神经(0.08mm)着手,对植入式微电极的结构进行设计。根据加工工艺所用到的材料及设备等方面进行选择和优化设计,确定工艺制作流程,制备柔性微电极。同时,对电极制备过程中的相关工艺如斜曝光技术、PDMS倒模工艺、PDMS薄膜的氧等离子体处理进行了研究。然后对工艺技术的细节做了讨论和研究,并对溅射有银的PDMS表面进行了应变电阻进行了测试研究。最后通过这次的研究提出了有关微电极的神经刺激器改进方案和发展前景。所制备的微电极阵列为1×2,通道间距为240μm,通道宽度为80μm,深度大约为40μm,具有较好的成90。角的倒三角形貌。相比于传统的微电极阵列(Helix, FINE),在相同底面积上,倒三角形能够很好的包裹住神经束,同时凹下去的通道结构保证了电极刺激位点与神经细胞的良好接触,这有利于提高生物电刺激和信号传输的效果。