微型零件体积小、重量轻,精度高等优点被越来越多的人认可了解,在航天航空、医疗机械和武器装备等方面被广泛应用。微细电解加工技术一项近几十年新兴起的加工方式,因其加工过程中无加工应力,加工表面质量高、电极无损耗等优点,使其具备独有应用前景。微型孔作为航空发动机涡轮叶片上的核心结构之一,要求条件极为严苛,工件表面质量高,无重熔层,无加工内力存在等都是其要求的标准。由于电解加工中存在杂散腐蚀,使得工件的加工精度降低,定域性较差。虽然现在已有一些方法进行改善如CVD侧壁绝缘,但是CVD侧壁绝缘方法需要特定的设备,这些设备较为昂贵,不适用于进行大批量实验研究。本文基于微细电解加工技术,针对微细电解加工微孔过程中存在杂散腐蚀进而造成的微孔存在锥度问题进行研究。本文首先对加工参数对微孔侧隙的影响进行分析,根据不同的加工电压、脉冲宽度、脉冲周期和进给速度,设计了18组对比试验,实验结果表明:随着加工电压、脉冲宽度、脉冲周期的增加和进给速度的减小,微孔入口侧隙增加,但是由于杂散腐蚀孔存在锥度。采用电极摇动方式后,锥度减小。为了解释这一现象,本文建立了电极摇动中电解加工微孔的侧隙表达式,从理论上对电极摇动辅助电解微孔加工对微孔侧隙的影响进行了定性分析。实验结果表明:电极摇动电解钻孔时,微孔入口直径和出入口直径差与没有摇动情况相比均有明显减小。当微孔深度为200μm、电极摇动半径为7μm时加工出微孔的出入口直径差比相同条件下电极不摇动时减小了60%。当进给深度为300μm时、电极摇动半径为7μm时加工出微孔的出入口直径差比相同条件下电极不摇动时减小了40%。