Parylene薄膜是一种高分子聚合物材料,是由其单体对二甲苯环二体或其衍生物在真空条件下通过精细锻膜技术制备而成。由于它具有良好的气密性、力学性能、电学性能和化学惰性,因而被广泛应用于生物医疗、航天航空、微电子机械（MEMS）、文物保护等领域。本论文对Parylene薄膜前驱体的合成路线进行了研究,优化了合成工艺,并进行了稳定性实验,最终提高了产品收率,为实现产品工业化提供理论基础。首先,研究了Parylene A前驱体（4-氨基对二甲苯环二体）的合成工艺。Parylene A前驱体的合成分为两步,第一步是以对二甲苯环二体（N粉）为原料,采用硝酸/浓硫酸/冰乙酸混酸体系进行硝化反应,经过重结晶得到4-硝基-[2,2]-对二甲苯环二体。第二步是以4-硝基-[2,2]-对二甲苯环二体为原料,经过金属催化剂加氢还原得到4-氨基-[2,2]-对二甲苯环二体。硝化反应过程中考察了混酸体系、反应溶剂、重结晶、反应时间对反应收率的影响;还原反应过程中考察了催化剂、反应溶剂、反应温度、氢气压力对反应收率的影响。得到最优的反应条件为:第一步反应过程中,以二氯甲烷为溶剂,n（N粉）:n（HNO₃）=1:1.29,n（N粉）:n（H₂SO₄）=1:2.4,反应时间为5-6 min,重结晶得到硝化产物;第二步反应过程中,以四氢呋喃作为溶剂,Pd/C作为催化剂,反应温度60℃、氢气压力3 MPa、反应时间3.5 h。在工艺优化完成后,对小试结果进行了稳定性实验,最终产物收率为42.2-45.6%,产品纯度为98.3%。其次,研究了Parylene H前驱体（4-甲酰基对二甲苯环二体）的合成工艺。Parylene H前驱体的合成是以对二甲苯环二体为原料,四氯化钛作为路易斯酸催化剂,与二氯甲基甲醚反应得到产物。分别考察了催化剂种类、助催化剂、反应物料摩尔比、反应时间等对产物收率的影响。得到的最优工艺条件为:以四氯化钛为催化剂,硝基甲烷作为助催化剂,n（N粉）:n（TiCl₄）=1:1.6,n（N粉）:n（CH₃OCHCl₂）=1:1.2,反应时间2.5 h。重结晶后得到产物收率为为76.5%,产品纯度为99.5%。另外,采用高斯算法模拟了反应过程,探索了反应机理。最后,研究了Parylene AM前驱体（4-甲氨基对二甲苯环二体）的合成工艺。该反应以上一章合成的4-甲酰基对二甲苯环二体为原料,通入氨气和氢气,原料先和氨气生成烯胺,再与氢气发生还原反应生成产物。考察了催化剂种类、反应温度、反应压力、反应时间对产物收率的影响。得到的最优工艺条件为:雷尼镍作为催化剂时,反应温度60℃、氢气压力3 MPa、反应时间约5 h。产物收率为90.2%,产品纯度为99.1%。