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本论文采用对向靶直流磁控溅射法制备了系列碳氮薄膜和掺Ni碳氮薄膜,并对它们进行了退火处理。利用原子力显微镜、X射线光电子谱、拉曼光谱、红外光谱、高分辨透射电子显微镜、纳米压痕仪,分别研究了样品的表面形貌、成分、微观结构和力学性质。在适当的溅射功率和气压下制备出了具有“纳米点”结构表面形貌的纯碳膜;对于在不同的氮气分压下制备的碳氮薄膜,随着氮气分压的增加,薄膜的表面粗糙度增加;对于氮气分压为60%时制备的样品,在650 oC退火后,样品表面形成了棱锥状的形貌。