论文部分内容阅读
本课题采用直流反应磁控溅射的方法，分别在镀有透明导电ITO薄膜的玻璃和石英衬底上制备了TiO2薄膜，通过XRD、Raman光谱、AFM、SEM、紫外-可见分光光度计分别对样品的结构、形貌、光学性质等进行了测试，研究了制备条件，如衬底温度、溅射气压、氧氩比、退火温度等对薄膜结构、形貌和光学性能的影响，对TiO2薄膜的紫外光响应进行了初步的探索，以期待TiO2成为一种新的紫外光探测器材料。以黑光灯为光源，采用ITO/TiO2/ITO和C/TiO2/ITO结构通过光电流测量了锐钛矿相TiO2薄膜的紫外光响应。
本实验还制备了结晶良好的ZnO薄膜，并测试了它的光响应与TiO2薄膜的光响应相对比，研究结果进一步表明了TiO2薄膜作为紫外光探测器的可行性。