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ZnO气敏传感器以其响应速度快、恢复时间短、选择性好及对环境污染小等特点成为气敏传感器领域研究的热点,引起人们的广泛关注。其中,ZnO薄膜表面的孔结构,对于气体的检测有着极大的优化作用。本文主要利用溶胶-凝胶法,以醋酸锌(Zn(CH_3COO)_2·2H_2O)为原料,聚乙二醇PEG为模板剂,合成了具有孔结构的ZnO薄膜,考察了各种工艺参数对ZnO薄膜的微观结构、表面形貌及其气敏性能的影响,从而得到了以下一些结果:1.络合剂的加入可以有效地抑制Zn(CH_3COO)_2·2H_2O强