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目前,片上螺旋电感还没有一个固定统一的标准模型,如何建立高精度、宽带并具有很好的可重复性的电感模型已成为学术界和工业界研究的热点。基于此,本文以硅基片上螺旋电感为研究对象,进行了螺旋电感等效电路模型参数提取的研究。首先,为给片上螺旋电感等效电路模型参数提取提供准确的测试数据,论文采用两种剥离方法进行了片上螺旋电感四种S参数幅值和相位值的测试,所得数据编辑成.S2P文件网表并导入Agilent-ADS软件,应用其内部集成的遗传算法,进行了螺旋电感单π等效电路模型的参数提取。由提取结果分析得