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平面微型超级电容器是一种具有体积小、储能密度高、充放电速度快、循环寿命长、使用安全等特点的新型储能器件,通常被用于微型电子器件的能源提供。平面微型超级电容器的性能主要取决于电极材料的性能。石墨烯作为一种新型的纳米材料,由于其具备独特的物理性能和化学性能,使其成为最重要的超级电容器电极材料。通过分析平面微型超级电容器离子传输机制,设计了小尺寸指宽和空隙的平面微型超级电容器构型,并以此为单体设计了串并联复合构型的平面微型超级电容器掩膜版。将制备好的石墨烯电极经过光刻、磁控溅射、超声波清洗剥离及等离子体刻