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介绍深冷法高纯度制氮设备的流程、主要特征、杂质清除、设计要求,并简介了深度精制,可使氮中杂质含量小于0.01×10-9.
用于半导体工业的高纯度制氮设备
【摘 要】
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介绍深冷法高纯度制氮设备的流程、主要特征、杂质清除、设计要求,并简介了深度精制,可使氮中杂质含量小于0.01×10-9.
【机 构】
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上海化工研究院(退休),上海浦东德州路150弄74号602室,200126
【出 处】
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深冷技术
【发表日期】
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2003年4期
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