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为了探究TiO2薄膜在不同衬底材料上的光学特性和激光损伤阈值,以高阻硅、熔石英和k9玻璃为衬底材料,采用真空热蒸发方法制备TiO2薄膜,利用变角度宽光谱椭偏仪、紫外可见分光光度计和激光损伤测试系统表征不同衬底上薄膜的膜厚、折射率、消光系数、透过率、光学带隙以及激光损伤阈值。研究结果表明:对比3种衬底材料,高阻硅上沉积的TiO2薄膜具有高的折射率和低的消光系数;熔石英上沉积的TiO2薄膜具有高的透过率和宽的光学带隙;k9玻璃上沉积的TiO2薄膜具有窄的光学带隙,熔石英和k9玻璃上TiO2薄膜的激光损伤阈值相