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多晶硅棒对还原炉径向热辐射的角系数计算与分析
多晶硅棒对还原炉径向热辐射的角系数计算与分析
来源 :工业加热 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jizhe621
【摘 要】
:
根据多晶硅还原生产中不同的还原炉炉型、硅棒直径和排列的几何结构,采用Matlab软件编程,计算硅棒对还原炉径向热辐射的角系数。并根据获得的角系数,对还原炉径向辐射功率和还原
【作 者】
:
杨楠
杨志国
【机 构】
:
新疆东方希望新能源有限公司,华陆工程科技有限责任公司
【出 处】
:
工业加热
【发表日期】
:
2017年2期
【关键词】
:
角系数
径向辐射
多晶硅
还原炉
angle coefficient radial radiation polysilicon CVD reactor
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根据多晶硅还原生产中不同的还原炉炉型、硅棒直径和排列的几何结构,采用Matlab软件编程,计算硅棒对还原炉径向热辐射的角系数。并根据获得的角系数,对还原炉径向辐射功率和还原单位径向热辐射量进行了分析和比较,为多晶硅还原炉的设计和生产操作提供理论支持和数据参考。
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