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提出了一种用于无阀压电微泵的新型效率模型，根据传统扩张／收缩管型结构设计出侧面带有环形面积新型锯齿型带锥度和无锥度两种微流道。用CFD软件对传统扩张／收缩型微流道及新型锯齿型微流道进行了三维流动模拟，绘制出几种微流道特性曲线，并用新型效率模型计算了三种微流道在两种限制条件（最大流量零压力头和最大压力头零流量）下的稳态效率，并进行了分析比较，结果表明由于结构改变，锯齿型微流道最大流量和压力损失实现了预期的变化，并且带锥度锯齿型微流道微泵稳态效率均大于标准扩张／收缩型微流道及无锥度锯齿型微流道微泵。最后制作出