【摘 要】
：
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在玻璃衬底上低温制备了微晶硅(μc-Si:H)薄膜。利用拉曼(Raman)散射谱、原子力显微镜(AFM)研究了H2稀释、衬底温度、射频功率等对薄
【机 构】
：
郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州大学材料物理教育部重点实验
论文部分内容阅读
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在玻璃衬底上低温制备了微晶硅(μc-Si:H)薄膜。利用拉曼(Raman)散射谱、原子力显微镜(AFM)研究了H2稀释、衬底温度、射频功率等对薄膜晶化的影响。研究结果表明,当H2稀释比从95%升高到99%、衬底温度从200℃逐渐升高到400℃、硅膜的晶化率逐渐提高,结构逐渐由非晶向微晶转变,射频功率对薄膜晶化的影响有一最优值。
Microcrystalline silicon (μc-Si: H) thin films were prepared on glass substrates by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The effects of H2 dilution, substrate temperature and RF power on the crystallization of thin films were investigated by Raman scattering spectroscopy and atomic force microscopy (AFM). The results show that when the H2 dilution ratio increases from 95% to 99%, the substrate temperature gradually increases from 200 ℃ to 400 ℃, the crystallization rate of the silicon film gradually increases, and the structure gradually changes from amorphous to microcrystalline. The effect of power on film crystallization has an optimal value.
其他文献
通过对自然环境的整合和生态绿岛的建构,期望创造出一个亲近自然、独具特色的生态小区,找回一些传统"江南水乡生活"的内在本质:那种悠然自得、淡定从容、生态的生活方式.
近年来,随着血液流变学在临床上的应用,其临床检测的质量控制也越来越受到人们的重视,要使之达到标准化和规范化,必须制定严格的操作规程并不断改进和完善操作技术,实行全面
随着医学的快速发展,临床与检验工作的关系日趋密切,两者相互促进,互为补充.临床医生及时、准确地诊疗疾病离不开相关检验数据,检验科要更好地发展须得到临床工作者的通力合
目的：探讨灸疗加中药保留灌肠法在妇科疾病治疗中的应用。方法：回顾性分析2例妇科患者的临床资料。结果：经过灸疗加中药保留灌肠法治疗后，1例患者所有不适症状消失，另一例治疗后的
目的 观察不同剂量伊曲康唑治疗甲真菌病疗效与不良反应.方法 将96例甲真菌病病人随机分成两组.分别以同日剂量为200毫克或400毫克的伊曲康唑间歇冲击治疗,观察疗效和不良反
化脓性关节炎临床并不少见,但发生于骶髂关节的化脓性关节炎并不多见.本文通过对一例骶髂关节化脓性关节炎的追踪,回顾性诊断.以期提高影像科医生对该病的认识,提高术前诊断
目的 探讨口服替吉奥胶囊治疗晚期或转移性胃癌护理方法.方法 对我院126例胃癌患者应用口服替吉奥胶囊治疗失败的转移性胃癌发生不良反应采取相应措施.结果 不良反应轻.耐受
为观察TDP神灯局部照射在肛周脓肿一次性根治术、肛瘘切除术后的运用效果.我科将80例肛周脓肿、肛瘘患者分为治疗组41例对照组39例,两组均按常规消毒,黄连油膏局部换药,治疗
目的 探讨弥漫性食管痉挛的诊断依据和治疗措施,为临床开展诊疗工作提供参考依据.方法 回顾性分析我院78例弥漫性食管痉挛患者的临床病历,分析其诊断依据和治疗措施.结果 46
目的 急性乳腺炎三个临床阶段的重要性.方法 回顾性调查.结果 50例患者有3例并发乳瘘形成瘘腔,坚持抗炎、换药,随访1～3个月,切口愈合.结论 不同临床阶段的急性乳腺炎采取不同