论文部分内容阅读
介绍了BST压电陶瓷靶的烧制方法,使用添加剂改善了Ba0.6Sr0.4TiO3靶材的结构和性能,解决了BST靶材热稳定性差的问题,同时优化了BST靶材的晶化效果,提高介电性能。实验通过XRD衍射和P-E试验分析了所制BST溅射靶的微结构和铁电特性。
Ba0.6Sr0.4TiO3溅射靶材的烧制和性能分析
【摘 要】
：
介绍了BST压电陶瓷靶的烧制方法,使用添加剂改善了Ba0.6Sr0.4TiO3靶材的结构和性能,解决了BST靶材热稳定性差的问题,同时优化了BST靶材的晶化效果,提高介电性能。实验通过XRD
【机 构】
：
南京电子器件研究所,单片集成电路与模块国家级重点实验室
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
：
2008年2期
其他文献
采用化学气相沉积法,以Zn（S2CNEt2）2为单源前驱体,Au为催化剂,在不同的温度下,得到了不同直径的六方相ZnS纳米线.在此基础上,改用Ni为催化剂,得到碳纳米管;改用单质S和Zn为原料
人诱导性干细胞在进入产业化之前,最主要的产业前研究方向包括以下三点.（1）大规模样本收集,研究特异致病突变造成的疾病表型差异,构建基因改造的人诱导性干细胞,利用分化细胞进
介绍了一种FIA（FlowInjectionAnalysis－流动注入分析）系统中的部件—微型振膜泵。该微型泵体采用无阀式的扩散管/喷嘴结构，由电磁—机械方式驱动振膜的振动，用干电池作电源。实验