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研究了硅粉原料、氯化亚铜催化剂经微波预处理直接法合成三甲氧基硅烷，利用SEM及XRD技术对预处理过的硅铜混合物进行了表征，考察了处理时间、钠盐对反应的影响。实验结果表明，硅粉原料、氯化亚铜催化剂经微波高火档处理3min后，合成三甲氧基硅烷，反应活性显著提高，反应馏出液中ω（三甲氧基硅烷）=54．0％，ω（甲醇）=36．7％；添加NaCl后，ω（三甲氧基硅烷）=59．2％，ω（甲醇）=28.7％。