基于TDLAS和ICL的紧凑中红外痕量气体探测系统

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：badgod

【摘要】

：

为了实现基于可调谐激光吸收光谱技术的高检测灵敏度、低功耗、小型中红外痕量气体传感器设计,结合锑化镓(GaSb)ICL和紧凑型多反射气体吸收气室(MPC)研制了基于不同结构传感

【作者】

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李春光董磊王一丁林君

【机构】

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吉林大学仪器科学与电气工程学院,山西大学激光光谱研究所量子光学与光量子器件国家重点实验室,吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,吉林大学生物与农业工程学院

【出处】

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光学精密工程

【发表日期】

：

2018年8期

【关键词】

：

激光传感器半导体激光器量子级联光谱红外

【基金项目】

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博士后创新人才支持计划项目(No.BX201700100);中国博士后科学基金资助项目(No.2017M621206);国家自然科学基金资助项目(No.61622503,61575113,61307124,No.61805099)

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为了实现基于可调谐激光吸收光谱技术的高检测灵敏度、低功耗、小型中红外痕量气体传感器设计,结合锑化镓(GaSb)ICL和紧凑型多反射气体吸收气室(MPC)研制了基于不同结构传感光学核的两个小型TDLAS传感系统。两个传感光学核的总功率消耗为3.7 W,并通过探测甲烷(CH 4)和甲醛(CH 2O)分别验证了双层结构和单层结构系统的性能。实验结果表明:CH 4和CH 2O系统的检测灵敏度分别为5.0 nL/L和3.0 nL/L,测量精度分别为1.4 nL/L和1.0 nL/L。此外,相同配置情况下将两种结构系

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