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介绍了采用LVDT在线测量非球曲面的原理，并给出最小二乘数据拟合处理方法，通过试验加工球面和非球面元件．利用LVDT测量头进行在位检测．评估面形精度．经数据拟合插补和误差控制．并采用激光干涉仪测量验证后表明．该算法可以应用于高精度非球面测量及加工误差补偿程序．以提高非球曲面加工精度。
基于数据拟合提高非球曲面面形精度的方法
【摘 要】
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介绍了采用LVDT在线测量非球曲面的原理，并给出最小二乘数据拟合处理方法，通过试验加工球面和非球面元件．利用LVDT测量头进行在位检测．评估面形精度．经数据拟合插补和误差控制．并采
【机 构】
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精密制造技术航空科技重点实验室,北京航空航天大学
【出 处】
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航空科学技术
【发表日期】
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2010年4期
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